広州科適特科学器械有限公司
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フィルム厚さモニタ
フィルム厚さモニタ
製品の詳細
商品番号: MTM-10 & MTM-20
仕入先: 広州科適特科学器械有限公司
現物状態: 1ヶ月
保証期間: 1年間
数量: 制限なし
仕様: 0 999.9nm(POS / NEG)

MTM-10MTM-20高分解能フィルム厚さモニタ

にのみ適用Cressington SputterCarbon Coaters

高分解能厚さモニタと厚さコントローラは、石英結晶の発振周波数がその上面上の堆積膜の品質によって変化する原理に基づいている。この効果を電子的に測定することにより、堆積膜の厚さを決定することができる。蒸発した材料の密度をシステムに入力すると、範囲は0-999.9ナノメートルの4ビットLEDディスプレイ上の測定厚さは0.1nmの解像度です。結晶とホルダは真空チャンバに取り付けられ、供給された真空フィードスルーを介してFTM電源装置。

MTM-10高解像度厚さモニタ

厚さ制御を確保するための経済的方法
不可能でなければ、堆積中に膜厚を正確に手動で制御することは困難である。一滴の油を含む白いタイルを使用して炭素のコーティング厚を大まかに見積もることがありますが、再現可能なコーティングを繰り返す必要がある場合は使用できません。真空レベル(スパッタリング用)と時間(蒸発用)が非常に重要なパラメータであるため、機器設定を使用することも正確な方法ではありません。高解像度厚さモニタは、推測を排除し、容易なコーティング厚さの再現性を提供します。加工因子を用いて薄膜を精密に測定することができる。
MTM-10高解像度厚さモニタは任意の用途に適していますCressingtonスパッタリングとカーボンコーティングシステム。



システムは次のとおりです。
  • MTM-10コントローラボックス
  • BNCケーブル本/ BNCベンド
  • 発振器ボックス
  • CS-108真空フィードスルーBNC / SMBコネクタと統合Oシールリング
  • クリスタルステーケーブル7/ 108mm
    水晶ステント、M4ねじ寸法ø19x20mm高さ。すいしょうめんせきø6mm

MTM-20高解像度厚さコントローラ

MTM-20高解像度厚コントローラCressingtonスパッタリング塗布機のシステム設計、108auto108auto / SE208HRスパッタリングコーターシステムは完全に互換性がある。
MTM-10高解像度厚さモニタと
MTM-20高解像度厚さモニタ仕様
一般仕様: マイクロプロセッサベースの4ビット数表示、ボタンはゼロ
6MHz結晶振動、寿命検査付き
毎秒5にじこうしんりつ
厚さ範囲: 0 999.9nmPOS / NEG
解析度: 0.1nm金または炭素に使用
密度の範囲: 30.00g / CC 0.50
ツール係数の範囲: 0.25 - 8.0
真空フィードスルー: CS 108;直径10mm、板材/フランジの厚さは9mm
水晶フレーム: ステンレス鋼ø19x20mmM4取り付け用のねじ穴、1/2「寸法の結晶
水晶ラックケーブル: Mini-SMB、母/母の間の水晶ステントとCS-108真空貫通装置
プロセッサー機能: の場合MTM-10MTM20、4つのグループの値は密度の下のメモリに格納することができ、4つのグループはツールの下に格納することができる
MTM-20コントローラ: のみMTM-20:プログラマブル厚さ端子接続機能、端末インタフェースケーブル付き、108自動化、208HRDC-100
端末装置の範囲は0-999.9nm
MTM-10/20ボックスサイズ 210 x 160 x 77ミリ(8.27インチx 6.3インチx 3.03インチ)
製品# 説明
93004 MTM-10高分解能厚さ監視システム* 110VAC50 / 60Hz
93004-220 MTM-10高分解能厚さ監視システム* 220VAC50 / 60Hz
93006 MTM-20高分解能厚さコントローラシステム* 115VAC50 / 60Hz
93006-220 MTM-20高分解能厚さコントローラシステム* 220VAC50 / 60Hz
93005 MTM-10高分解能厚さ監視システムRPTまたはRTレベル* 110VAC50 / 60Hz
93005-220 MTM-10高分解能厚さ監視システムRPTまたはRTレベル* 220VAC50 / 60Hz
93007 MTM-20高解像度厚さコントローラシステムRPTまたはRTレベル* 115VAC50 / 60Hz
93007-220 MTM-20高解像度厚さコントローラシステムRPTまたはRTレベル* 220VAC50 / 60Hz
93004-30 MTM-10/20の発振器
93004-31 使用#シヨウ#MTM-10/20の外部BNCケーブル、3フィート長
93004-32 使用#シヨウ#MTM-10/20CS-108しんくうフィードスルー
93004-35 適用MTM-10/20の水晶棚
93004-36 適用MTM-10/20の水晶ステントケーブルで、長さは6インチ(108
93004-37 使用#シヨウ#MTM-10/20の結晶ステントケーブル、12インチ長(108,108SE208,308))
93008 MTM-10/20の置換結晶
93009 MTM-10/20の置換結晶
93004-10 フィルム厚ハードウェアキット、なしMTM-10
93004-12 使用#シヨウ#RPTステージの薄膜厚ハードウェアキット、なしMTM-10


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